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| 半导陶瓷湿度传感器的组分分析 | |
| 引用本文： | 胡绪洲.半导陶瓷湿度传感器的组分分析[J].半导体学报,1995,16(1):56-61. |
| 作者姓名： | 胡绪洲 |
| 作者单位： | 云南大学物理系 |
| 摘 要： | 本文研究一种用ＺｒＯ２，ＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５和Ｐ２Ｏ５为原料的半导陶瓷湿度传感器．它的组分是用扫描电子显微镜，Ｘ射线衍射仪和Ｘ射线能谱仪进行分析．几种氧化物粉末在高温下烧结成由许多微小晶粒组成的多孔半导陶瓷．晶粒周围环绕着Ｎｂ（０．２）Ｚｒ（０．８）Ｏ（２．１），ＺｒＮｂ（１４）Ｏ（３２），ＺｒＰ２Ｏ７以及Ｎｂ（４４）Ｐ２Ｏ（１１５）复合物．这些固溶体能够降低晶粒之间的电阻．大气水分子的吸附和毛细凝聚进一步加强了传感器电导． |
| 关 键 词： | 湿度传感器 半导陶瓷 组分分析 |
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