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基于非线性介电薄膜的电调滤波器优化设计
引用本文:吴达军,何世明,刘兴钊,李言荣. 基于非线性介电薄膜的电调滤波器优化设计[J]. 功能材料与器件学报, 2006, 12(4): 299-302
作者姓名:吴达军  何世明  刘兴钊  李言荣
作者单位:电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054
基金项目:四川省青年基金资助课题.
摘    要:采用脉冲激光沉积(PLD)法在(001)MgO基片上制备出高质量的SrTiO3(STO)薄膜,构建了Au/STO/MgO结构的叉指电容.在77K、10KHz条件下,对叉指电容的特性进行了测试,结果表明:在40kV/cm的直流电场作用下,电容值从1.75 pF减小为1.25 pF,电容值的相对变化率为28.5%.在此基础上,根据多层介质叉指电容保角变换模型.定量计算和仿真了STO薄膜的介电常数和微波频率下叉指电容的性能参数,并由此设计了一个三阶带通滤波器,该滤波器可实现13.50%的中心频率移动.

关 键 词:STO  薄膜  介电性质  叉指电容  滤波器
文章编号:1007-4252(2006)04-0299-04
收稿时间:2005-08-16
修稿时间:2005-08-162005-11-07

Optimized design of electrically tunable filter based on nonlinear dielectric film
WU Da-jun,HE Shi-ming,LIU Xing-zhao,LI Yan-rong. Optimized design of electrically tunable filter based on nonlinear dielectric film[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2006, 12(4): 299-302
Authors:WU Da-jun  HE Shi-ming  LIU Xing-zhao  LI Yan-rong
Affiliation:National Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China
Abstract:
Keywords:STO   thin film    dielectric properties    IDC    filter
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