双弯曲型压电振子的振动解析

对双弯曲型直线与旋转超声波马达振子的振动状态进行了解析计算，与有限元法计算的结果作了比较，从理论上说明了将拨齿与基板分割计算进行设计是合理的。给出了铰支结构压电振子直线马达的试验结果。