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| SnO2薄膜的溶胶—凝胶制备及气敏性能的研究 | |
| 引用本文： | 林殷茵,杨合情.SnO2薄膜的溶胶—凝胶制备及气敏性能的研究[J].压电与声光,1998,20(3):186-189. |
| 作者姓名： | 林殷茵 杨合情 |
| 作者单位： | 西安交通大学电子材料与器件研究所 |
| 摘 要： | 采用非醇盐溶胶－凝胶工艺制得纳米微晶ＳｎＯ２多孔薄膜，该法易于实现ＳｎＯ２与多种添加剂的均匀掺杂。通过调整薄膜的微观结构使薄膜对Ｃ２Ｈ５ＯＨ和ＣＯ在最佳工作温度的灵敏度比调整前分别提高了３倍和１４倍。 |
| 关 键 词： | SnO_2，薄膜，溶胶－凝胶，气敏材料，纳米微晶 |
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