| 成形工艺对烧结法制备ITO靶材的影响 |
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| 引用本文： | 王玥,刘家祥,刘宸.成形工艺对烧结法制备ITO靶材的影响[J].有色金属,2010,62(4). |
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| 作者姓名： | 王玥 刘家祥 刘宸 |
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| 作者单位： | 北京化工大学,材料科学与工程学院,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究"863"计划项目 |
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| 摘 要： | 以平均粒径为30nm的ITO粉体为原料,添加少量聚乙烯醇(PVA)造粒.模压成形获得索坯,在氧气氛、1550℃烧结索坯制备ITO靶材.采用100～600MPa的成形压力,添加0.5%,1.0%,2.5%的PVA制备靶材,研究压力和PVA添加量对靶材制备的影响.结果表明,成形压力在100～500MPa内,素坯及靶材密度随压力升高而增大,500MPa时达到最大值,分别为47.5%和99.16%.600MPa时素坯和靶材密度略微降低.成形压力越高,摩擦导致的压力损失越大,素坯脱模越困难.增大PVA添加量,素坯更易脱模,且坯体内密度分布更均一.添加1.0%的PVA时获得的素坯及靶材密度最高,分别为45.21%和98.45%.得出素坯的较佳制备条件为成型压力400MPa,PVA添加1.0%.
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| 关 键 词： | 粉末冶金 ITO靶材 素坯 成形压力 |
Effects of Forming Process on ITO Targets Preparation by Sintering Method |
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| WANG Yue,LIU Jia-xiang,LIU Chen.Effects of Forming Process on ITO Targets Preparation by Sintering Method[J].Nonferrous Metals,2010,62(4). |
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| Authors: | WANG Yue LIU Jia-xiang LIU Chen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PVA |
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