| 射频气体放电激励电压电流及相位传感器的研制 |
| |
| 引用本文： | 黄建军,余建华,D.Teuner.射频气体放电激励电压电流及相位传感器的研制[J].仪表技术与传感器,2000(11):1-2,8. |
| |
| 作者姓名： | 黄建军 余建华 D.Teuner |
| |
| 作者单位： | 1. 深圳大学,广东省深圳市,518060
2. 德国鲁尔大学电子工程与信息技术系,德国波鸿D-44780 |
| |
| 摘 要： | 由于分布电容的存在而造成对仪器的干扰，使得对射频放电电压电流及相位的测量，到目前为止仍然是比较困难和昂贵的；使用简单的电压电流探头而无干扰地精确地测量出电压、电流和相位角，从而计算出复合阻抗几乎是不可能的。这里介绍一种自行研制的传感器，结合网络分析理论，采用数字与计算机技术实现对射频放电电压、电流及相位角精确的测量，经实际使用精度高，抗干扰能力强，价格低廉。
|
| 关 键 词： | RF放电 电压 电流 相位角 相位传感器 研制 |
The Probe Measuring Voltage,Current and the Phase Angle of RF Discharges |
| |
| Huang Jianjun,Yu Jianhua,D.Teuner.The Probe Measuring Voltage,Current and the Phase Angle of RF Discharges[J].Instrument Technique and Sensor,2000(11):1-2,8. |
| |
| Authors: | Huang Jianjun Yu Jianhua DTeuner |
| |
| Affiliation: | Huang Jianjun
,Yu Jianhua
(Experimental Center of School of Science Shenzhen University,Shenzhen Guang Dong 518060)D.Teuner
(Department of Electrical Engineering and Information Technology,D-44780 Bochum Germany) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | RF Discharge Probe Voltage Current Phase Angel |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
