化学气相沉积Ti(CN)/TiC/Al_2O_3多层涂层的结构和耐磨性能 |
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引用本文: | 张进,薛屺,秦曾,辛荣.化学气相沉积Ti(CN)/TiC/Al_2O_3多层涂层的结构和耐磨性能[J].机械工程材料,2014(2). |
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作者姓名: | 张进 薛屺 秦曾 辛荣 |
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作者单位: | 西南石油大学材料科学与工程学院; |
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基金项目: | 四川省教育厅青年基金资助项目(12ZB164);国家“863”计划课题项目(2007AA09Z202) |
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摘 要: | 采用化学气相沉积技术在42CrMo钢基体表面制备了Ti(CN)/TiC/Al2O3多层涂层,分析了多层涂层的断面形貌、元素分布和物相组成,并研究了多层涂层的显微硬度及其与基体的界面结合力、耐磨性能。结果表明:Ti(CN)/TiC/Al2O3多层涂层的结构较致密,主要由TiC0.2N0.8、TiC、α-Al2O3和Ti2O3组成,厚度约10μm,其显微硬度约2 654HV,涂层与基体间的界面结合力可达62N;与基体相比,多层涂层的平均摩擦因数约降低了23%,磨损量约减少了50%,其磨损机制为疲劳磨损和磨粒磨损。
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关 键 词: | Ti(CN)/TiC/AlO多层涂层 化学气相沉积 摩擦磨损 |
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