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| 静电计量检测的研究 | |
| 引用本文： | 柯进. 静电计量检测的研究[J]. 计量与测试技术, 2009, 36(7): 24-26,28 |
| 作者姓名： | 柯进 |
| 作者单位： | 广东省计量科学研究院,广东广州,510405 |
| 摘 要： | 本文阐述静电通过静电场对微电子元器件产生危害的途径,总结了静电防护方法.并在此基础上,对静电计量检测的对象及其特点、技术要求和依据的标准进行了较为全面的研究. |
| 关 键 词： | 静电 计量 检测 |
Research for Metrology and Test of Electrostatics |
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