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| 隧道谱仪及其应用 | |
| 引用本文： | 陈弘毅.隧道谱仪及其应用[J].半导体学报,1993,14(2):94-102. |
| 作者姓名： | 陈弘毅 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所 北京 |
| 摘 要： | 本文描述隧道谱仪的测量原理,并给出一个隧道谱测量系统的结构。利用该系统测量了硅隧道二极管和分子束外延单晶态CoSi_2/N~+-Si肖特基势垒二极管中的硅声子谱,以及GaAs/Al_xGa_(1-x)As双垒单量子阱中的不同共振隧穿机构。显示了隧道谱仪是研究固体中量子隧穿现象的一种有力工具。 |
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