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| 一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究 | |
| 引用本文： | 唐月生,伍先达,李锋,万莅新,邢武. 一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究[J]. 仪器仪表学报, 2002, 23(Z3): 59-62 |
| 作者姓名： | 唐月生 伍先达 李锋 万莅新 邢武 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院合肥智能机械研究所,合肥,230031 2. 中国科学院合肥智能机械研究所,合肥,230031;安徽中科智能高技术有限公司,合肥,230088 3. 安徽中科智能高技术有限公司,合肥,230088 |
| 摘 要： | 密封器件气密性检测是一项重要的安全检测之一,这里采用微差压原理,利用高精度差压传感器、精密对称气路和单片机测控系统组成测试装置,实现了对一定容积和压力下密封器件气密性的高精度检测.介绍了该检测仪的工作原理、硬件软件结构和系统性能. |
| 关 键 词： | 微差压原理 高精度 传感器 气体泄漏检测仪 |
Research and Design of High Precision Micro Air-leakage Detector |
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| Keywords: | |
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