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| 一种微型电磁继电器的制作和仿真 | |
| 引用本文： | 李德胜,张宇峰,王东宏. 一种微型电磁继电器的制作和仿真[J]. 微细加工技术, 2002, 0(3): 60-64 |
| 作者姓名： | 李德胜 张宇峰 王东宏 |
| 作者单位： | 1. 北京工业大学机电工程学院,北京,100021 2. 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨,150001 3. 哈尔滨工业大学电子科学与技术系,哈尔滨,150001 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (6 9976 0 11) |
| 摘 要： | 介绍一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺和仿真过程。这种微继电器主要由平面方形线圈、固定电极和活动电极构成 ,依靠线圈的激励电流来控制其开关动作。微继电器的大小约是 4mm× 4mm× 0 .5mm ,工艺比较简单 ,主要采用光刻、蒸镀、电镀和腐蚀牺牲层等普通的微加工技术来完成。另外 ,还进行了有关激励线圈对活动电极所产生电磁力的理论计算和仿真 ,以便从这些结果中得到活动电极和线圈之间的优化数据 |
| 关 键 词： | MEMS 微型电磁继电器 平面线圈 微加工 |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)03-0060-05 |
| 修稿时间： | 2002-04-05 |
Fabrication and Simulation of an Electromagnetic Microrelay |
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| LI De?sheng ,ZHANG Yu?feng ,WANG Do hong. Fabrication and Simulation of an Electromagnetic Microrelay[J]. Microfabrication Technology, 2002, 0(3): 60-64 | |
| Authors: | LI De?sheng ZHANG Yu?feng WANG Do hong |
| Affiliation: | LI De?sheng 1,ZHANG Yu?feng 2,WANG Do hong 3 |
| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS electromagnetic microrelay planar coil micromachining |
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