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一种新型微机械陀螺仪结构方案设计与仿真
引用本文:温姣,常艳辉,梁永生. 一种新型微机械陀螺仪结构方案设计与仿真[J]. 计算机光盘软件与应用, 2010, 0(8): 104-104,110
作者姓名:温姣  常艳辉  梁永生
作者单位:1. 电子科技大学机电工程学院,成都,611731
2. 石家庄强大泵业有限公司,石家庄,050035
3. 唐山港陆钢铁有限公司热轧厂,唐山,064200
摘    要:为了解决微机械陀螺仪驱动和检测模态耦合的问题,提出了一种新型的双质量块双线振动结构方案。根据微陀螺的结构和工作原理,对其驱动和检测模态进行了理论分析,给出了简化的动力学方程,并利ANSYS有限元分析软件进行了数值仿真,以验证设计思想的正确性。

关 键 词:微机械陀螺  梳齿驱动  结构解耦  品质因数  ANSYS仿真

Structure Design and Simulation for the New MEMS Gyroscope
Wen Jiao,Chang Yanhui,Liang Yongsheng. Structure Design and Simulation for the New MEMS Gyroscope[J]. , 2010, 0(8): 104-104,110
Authors:Wen Jiao  Chang Yanhui  Liang Yongsheng
Abstract:
Keywords:
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