| 阀片式硅微流量传感器的研究 |
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| 引用本文： | 张联 叶雄英. 阀片式硅微流量传感器的研究[J]. 仪表技术与传感器, 1999, 0(12): 1-5 |
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| 作者姓名： | 张联 叶雄英 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器系!北京市100084 |
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| 摘 要： | 提出了一种结构简单、易于加工的阀片式硅微流量传感器。该微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力，再由集成在阀片上的压敏电阻桥检测出流量信号。该传感器采用硅微细加工工艺制作，直接在单晶硅上加工出阀片和压敏电阻桥。该微流量传感器芯片尺寸３ ．５×３．５（ｍ ｍ） ，封装后的外形尺寸为Φ１０×４（ｍ ｍ） ；在１０ ～２００ｍｌ／ｍｉｎ 的气流量下，线性度优于５ ％ ．
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| 关 键 词： | 微流量传感器 微流量控制系统 微型机电系统 |
Research on A Silicon Micro Flow Sensor with a Cantilever Paddle |
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| Zhang Lian Ye Xiongying Zhou Zhaoying Li Yong Yao JianDept. of Precision Instruments,Tsinghua University,Beijing. Research on A Silicon Micro Flow Sensor with a Cantilever Paddle[J]. Instrument Technique and Sensor, 1999, 0(12): 1-5 |
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| Authors: | Zhang Lian Ye Xiongying Zhou Zhaoying Li Yong Yao JianDept. of Precision Instruments Tsinghua University Beijing |
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| Affiliation: | Zhang Lian Ye Xiongying Zhou Zhaoying Li Yong Yao JianDept. of Precision Instruments,Tsinghua University,Beijing 100084 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro Flow Sensor Micro Flow Control System MEMS |
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