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| 铜布线及其设备 | |
| 引用本文： | 翁寿松.铜布线及其设备[J].电子工业专用设备,1999,28(3):13-15,18. |
| 作者姓名： | 翁寿松 |
| 作者单位： | 无锡市无线电元件四厂!无锡214061 |
| 摘 要： | 介绍 Ｉ Ｃ 铝布线所存在的问题，采用铜布线替代铝布线是发展趋势，并就世界主要半导体公司已经和正在推出的多种铜布线 Ｉ Ｃ，以及相关设备作一简介。 |
| 关 键 词： | 铜布线 IC 设备 |
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