| 一种基于基板缺陷的共面波导电磁带隙结构 |
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| 引用本文： | 盆天玉,李凌云,孙浩.一种基于基板缺陷的共面波导电磁带隙结构[J].半导体光电,2015,36(6):918-921. |
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| 作者姓名： | 盆天玉 李凌云 孙浩 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 基金项目： | 上海市科委基础研究重点项目（14JC1407500） |
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| 摘 要： | 提出了一种通过湿法腐蚀实现的基板缺陷共面波导电磁带隙结构,并进行了建模仿真、加工和测试.重点研究了基板缺陷结构与传统金属缺陷结构的差异,以及采用湿法腐蚀工艺的优势.实验结果显示:新结构具有明显的电磁带隙特性;与干法刻蚀工艺相比,采用湿法腐蚀工艺加工可以获得更宽的阻带范围和更强的阻带抑制.该结构完整保留了50 Ω共面波导的信号线和接地板金属,可以与传统的金属缺陷结构结合,以获得性能更好的器件.
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| 关 键 词： | 电磁带隙 基板缺陷 湿法腐蚀 砷化镓 共面波导 |
| 收稿时间： | 2015/3/24 0:00:00 |
An EBG Structure Based on Substrate-Defected Coplanar Waveguide |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electromagnetic band-gap defected-substrate coplanar waveguide GaAs coplanar waveguide |
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