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二氧化锡衬底上Sol-Gel PLT膜的性能研究
引用本文:李金华,袁宁一,李坤,汤国英,陈王丽华.二氧化锡衬底上Sol-Gel PLT膜的性能研究[J].江苏工业学院学报,2001,13(2):1-4.
作者姓名:李金华  袁宁一  李坤  汤国英  陈王丽华
作者单位:李金华(江苏石油化工学院功能材料实验室,江苏常州 213016);袁宁一(江苏石油化工学院功能材料实验室,江苏常州 213016);李坤(香港理工大学,九龙香港);汤国英(香港理工大学,九龙香港);陈王丽华(香港理工大学,九龙香港)
摘    要:用Sol-Gel钛酸镧铅(PLT)溶胶,在CVD法沉积生成的二氧化锡/玻璃衬底上旋转涂胶成膜。经快速热退火(RTA)处理后,用X射线衍射(XRD)测试了膜的结晶取向,用RT66A测试了膜的电学性能。结果表明,Sol-GelPLT膜在SnO2衬底上能正常结晶,结晶温度与在Pt衬底上一致,结晶取向以〈100〉为主取向。10V时,SnO2衬底上厚度为0.56μm的PLT膜的漏电约为5.6×10-7A/mm2,比Pt衬底上同等厚度的PLT膜高约一个数量级。膜的剩余极化强度Pr=24μC/cm2,比Pt衬底上的高。PLT/SnO2的疲劳特性优于PLT/Pt结构。

关 键 词:PLT薄膜  氧化物电极  溶胶-凝胶法
文章编号:1005-8893(2001)02-0001-04
修稿时间:2001年3月2日

Ferroelectric Properties of Sol-Gel PLT Films on Tin-oxide Electrodes
Abstract:
Keywords:
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