| 浅析洁净室洁净度的污染源及其控制方法 |
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| 引用本文： | 罗洪国,石荣桂.浅析洁净室洁净度的污染源及其控制方法[J].洁净与空调技术,2011(2):79-82. |
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| 作者姓名： | 罗洪国 石荣桂 |
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| 作者单位： | 1. 山东省济南半导体元件实验所
2. 山东电力工程咨询院有限公司 |
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| 摘 要： | 洁净室的洁净度在日常运行管理中十分重要.在洁净室内空气污染源及其传播途径分析的基础上,提出相应的切实可行的控制方法,以保证洁净室洁净度持续处于受控状态.
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| 关 键 词： | 洁净室 洁净度 空气污染源 控制方法 |
Analysis on Contamination Sources & Control Method to Cleanroom Cleanliness |
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| Luo Hongguo,Shi Rongguo.Analysis on Contamination Sources & Control Method to Cleanroom Cleanliness[J].Contamination Control & Air-Conditioning Technology,2011(2):79-82. |
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| Authors: | Luo Hongguo Shi Rongguo |
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| Affiliation: | Luo Hongguo and Shi Rongguo |
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| Abstract: | Based on analysis of indoor air contamination sources and disperse routes,practical control motheds were provided,to ensure the Cleanroom cleanliness is under control. |
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| Keywords: | Cleanroom Cleanliness Air contamination source Control methods |
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