超高真空条件下使用的样品加热装置

本文介绍我们建立的一套可在UHV条件下使用的样品加热装置,包括可转移式加热样品托,适用于还原气氛以及UHV条件下的电阻加热器、光加热器以及与这两种加热器配套的快速程序升温控制仪。应用电加热器,样品温度可达1000℃以上;应用光加热器,样品表面温度可达650℃,程控升温速度可高达100℃/s,升温线性良好。这套装置所用的材料、元器件和仪器设备都是国内容易得到的,一般的UHV实验室都不难自行建立。