| 面向IC制造的净化机器人 |
| |
| 引用本文： | 丛明,沈宝宏,于旭. 面向IC制造的净化机器人[J]. 高技术通讯, 2007, 17(4): 395-400 |
| |
| 作者姓名： | 丛明 沈宝宏 于旭 |
| |
| 作者单位： | 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116023;大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116023;大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116023 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) , 国家自然科学基金 |
| |
| 摘 要： | 针对集成电路制造中环境洁净度与硅片传输任务的需求,提出了一种由径向直线伸缩机构以及旋转、升降运动模块组成的新型三自由度R-θ型净化机器人.该净化机器人采用两组行星轮系组合来实现关键的径向直线伸缩运动,并合理配置密封来实现上述需求.通过运动分析给出了实现径向直线伸缩运动的必要条件,进行了净化机器人的运动学与动力学分析.同时采用交流伺服电机作为驱动元件,基于MPC02运动控制卡作为上位控制单元构建了开放式控制系统.实验研究表明该净化机器人具有较高的速度、重复定位精度与应用洁净度.
|
| 关 键 词： | 净化机器人 运动学分析 动力学分析 运动控制卡 |
| 收稿时间： | 2006-08-17 |
| 修稿时间： | 2006-08-17 |
Cleaning robot oriented to IC manufacturing |
| |
| Cong Ming,Shen Baohong,Yu Xu. Cleaning robot oriented to IC manufacturing[J]. High Technology Letters, 2007, 17(4): 395-400 |
| |
| Authors: | Cong Ming Shen Baohong Yu Xu |
| |
| Affiliation: | Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining Technology of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian 116023 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | cleaning robot kinematics analysis dynamic analysis motion controller |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
