| 溶胶-凝胶法制备功能薄膜材料的研究及展望 |
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| 引用本文： | 杨辉,缪亚美,丁新更.溶胶-凝胶法制备功能薄膜材料的研究及展望[J].稀有金属材料与工程,2004,33(Z1):208-213. |
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| 作者姓名： | 杨辉 缪亚美 丁新更 |
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| 作者单位： | 浙江大学,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 材料功能的多元化以及各种元器件的微型化、集成化,导致薄膜的应用领域也就越来越广泛,对薄膜的制备技术的要求就越来越高.本文综述了近来溶胶-凝胶法在光学、电学、耐磨、耐蚀等功能薄膜制备中的研究及展望.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 功能薄膜 综述 |
| 文章编号： | 1002-185X(2004)S3-208-06 |
| 修稿时间： | 2004年5月29日 |
Research and Prospect on Functional Thin Films by Sol-Gel Process |
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| Yang Hui,Miao Yamei,Ding Xingeng.Research and Prospect on Functional Thin Films by Sol-Gel Process[J].Rare Metal Materials and Engineering,2004,33(Z1):208-213. |
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| Authors: | Yang Hui Miao Yamei Ding Xingeng |
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