| 超窄线宽导模共振滤波器的设计 |
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| 引用本文： | 刘振扬,关宝璐,胡丕丽,梁津.超窄线宽导模共振滤波器的设计[J].半导体光电,2019,40(1):72-76. |
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| 作者姓名： | 刘振扬 关宝璐 胡丕丽 梁津 |
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| 作者单位： | 北京工业大学光电子技术教育部重点实验室,北京,100124;北京工业大学光电子技术教育部重点实验室,北京,100124;北京工业大学光电子技术教育部重点实验室,北京,100124;北京工业大学光电子技术教育部重点实验室,北京,100124 |
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| 基金项目： | 多波长系列大功率半导体激光器产业化技术项目;多波长系列大功率半导体激光器产业化技术项目;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;北京市自然科学基金;北京市自然科学基金;北京市自然科学基金;北京市自然科学基金;教师队伍建设15青年拔尖项目;国家重点研发计划 |
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| 摘 要： | 亚波长光栅导模共振滤波器,具有高峰值反射率、低旁带反射和窄带等特点,能够实现基于高低折射率介质的滤波器所无法达到的独特功能。设计了中心波长为852nm的带有间隔层、线宽可控的超窄线宽导模共振滤波器,并分析了主要参数对反射光谱的影响。选择弱调制的介质作为光栅层,并在光栅层和波导层之间插入一层低折射率的介质作为间隔层来减小光栅层和波导层之间的耦合强度,进而使导模共振滤波器的线宽达到0.02nm的超窄程度,并且该结构中的光栅厚度、占空比等对反射光谱的影响极小,均利于其工艺制备。
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| 关 键 词： | 亚波长光栅 导模共振 滤波器 超窄线宽 |
| 收稿时间： | 2018/5/23 0:00:00 |
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