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介绍几种薄膜制备新技术

作者姓名：	张佐兰

作者单位：	南京工学院电子工程系

摘要：	一、引言制备薄膜的方法常用的有蒸发、溅射、CVD技术等。激光和电子束制备薄膜,由于其反应时间短、加热温度低且范围也小,加热和冷却迅速等特点而逐
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