光伏用硅片电阻率四探针法测量值不确定度评定

电阻率是太阳电池材料硅片的重要参数之一,也是决定太阳电池光电转换效率的重要参数之一。对于硅片生产单位和使用硅片制造器件的企业,电阻率是硅片检测过程中工作量最大的检测参数,同时也是硅片贸易合同中必须出现的检测参数。因此,电阻率的准确测量至关重要。文章分析了光伏用硅片在电阻率校准过程中对校准结果不确定度的各个影响因素,建立了评定校准结果不确定度的测量模型,并给出了四探针法测量光伏用硅片电阻率的相对扩展不确定度,确保光伏用硅片电阻率四探针法的测量值更为准确。