| 磁控溅射制备Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 张效岩,覃文. 磁控溅射制备Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜的研究[J]. 微细加工技术, 2004, 0(4): 31-35 |
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| 作者姓名： | 张效岩 覃文 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 上海市科技基金发展项目(0215nm030) |
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| 摘 要： | 采用组合靶，利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx：C复合纳米颗粒薄膜，并从实验和理论上对不同Pt浓度CoPt：C薄膜的组分、微结构、磁性能、组分和微结构与磁性能之间的关系以及薄膜的应用进行了初步研究。发现CoPt粒子取向和磁性能与CoPt：C薄膜中的Pt浓度有密切关系，在较高Pt浓度的CoPt：C薄膜中观察到垂直各向异性现象。通过改变Pt浓度，可以获得粒子粒径小于10nm、矫顽力可控、垂直磁晶各向异性较高的薄膜。晶格结构和晶粒之间的作用力可认为是影响CoPt：C薄膜磁性能的主要因素。
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| 关 键 词： | CoPt：C薄膜 浓度 磁性能 磁控溅射 |
| 文章编号： | 1003-8213(2004)04-0031-05 |
| 修稿时间： | 2004-07-09 |
Effect of Pt Concentration on Magnetic Properties of Magnetron Cosputtered CoPt:C Films |
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| ZHANG Xiao-yan,QIN Wen tional o/Nanometer Science and Technology,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai ,China). Effect of Pt Concentration on Magnetic Properties of Magnetron Cosputtered CoPt:C Films[J]. Microfabrication Technology, 2004, 0(4): 31-35 |
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| Authors: | ZHANG Xiao-yan QIN Wen tional o/Nanometer Science Technology Shanghai Jiao Tong University Shanghai China) |
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| Affiliation: | ZHANG Xiao-yan,QIN Wen tional o/Nanometer Science and Technology,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200030,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CoPt:C films concentration magnetic properties magnetron sputtering |
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