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自蔓处视温合成氮化硅的生长机理
引用本文:王华彬,张学忠,等.自蔓处视温合成氮化硅的生长机理[J].材料科学与工艺,2001,9(1):64-67.
作者姓名:王华彬  张学忠
作者单位:[1]哈尔滨工业大学复合材料中心,黑龙江哈尔滨150001 [2]哈尔滨工业大学复合材料中心,黑龙
摘    要:通过放气法观察到短棒状β-SiN4以气-液-固(VLS)机制生长的中间形太,以气-液-固机制生长的β-SiN4所需的液相依赖于反应物中的含氧杂质,而非反应物中的金属杂质,或氮气中的杂质氧气和水蒸汽等,在生长过程中,液相不断析出β-SiN4,氧需在液-固中重新分配,使得液相中的氧逐渐减少,并得不到补偿,所以β-SiN4长成短棒状,增加反应中的氧含量,可以得到高长径比的β-SiN4,氮气中适量的杂质氧气和水蒸汽有利于提高产物中β-SiN4的α相与β相的比例。

关 键 词:自蔓延高温合成  氮化硅  生长机理  结构陶瓷  陶瓷粉末
文章编号:1005-0299(2001)01-0064-04
修稿时间:2000年11月19日

The growth mechanism of self-propagating high-temperature synthesized Si_3N_4
WANG Hua-bin,ZHANG Xue-zhong,HAN Jie-cai,HE Xiao-dong,DU Shan-yi.The growth mechanism of self-propagating high-temperature synthesized Si_3N_4[J].Materials Science and Technology,2001,9(1):64-67.
Authors:WANG Hua-bin  ZHANG Xue-zhong  HAN Jie-cai  HE Xiao-dong  DU Shan-yi
Abstract:
Keywords:silicon nitride  self-propagating high-temperature synthesis  growth mechanism
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录!
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