| 微光学自适应技术中基于PZT薄膜的微反射镜工艺研究 |
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| 引用本文： | 张巍,娄迪,叶辉,白剑,杨国光. 微光学自适应技术中基于PZT薄膜的微反射镜工艺研究[J]. 光学仪器, 2006, 28(3): 81-85 |
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| 作者姓名： | 张巍 娄迪 叶辉 白剑 杨国光 |
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| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 介绍了微光学自适应技术中基于PZT(PbZrxT i1-xO3)薄膜的微反射镜单元及其制作工艺。该制作过程中用重掺杂硅片作为基底和下电极,采用了钛酸丁脂[(C4H9O)4T i]、乙酸铅[Pb(CH3COO2).3H2O]以及异丙醇锆[Zr(OCH(CH3)2 4.(CH3)2CHOH]为原料,通过溶胶-凝胶法(so l-gel)制作薄膜,薄膜厚度为纳米级。制成的PZT薄膜通过逆压电效应产生形变,对反射镜面局部进行微调,实现波前位相控制。
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| 关 键 词： | 自适应光学 微反射镜 PZT薄膜 逆压电效应 |
| 文章编号： | 1005-5630(2006)03-0081-05 |
| 收稿时间： | 2005-08-29 |
| 修稿时间： | 2005-08-29 |
Technical study of micro-mirror based on PZT films in adaptive optics |
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| ZHANG Wei,LOU Di,YE Hui,BAI Jian,YANG Guo-guang. Technical study of micro-mirror based on PZT films in adaptive optics[J]. Optical Instruments, 2006, 28(3): 81-85 |
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| Authors: | ZHANG Wei LOU Di YE Hui BAI Jian YANG Guo-guang |
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| Abstract: | A novel method of micro-mirror unit based on PZT thin film in adaptive optics and its technical process are introduced.In this process,heavily doped silicon(Si) is used as substrate and bottom electrode.The PZT film whose thickness is of several nanometers is fabricated by sol-gel method using the following chemical materials:(C_4H_9O)_4Ti,Pb(CH_3COO)_2·3H_2O and Zr(OCH(CH_3)_2)_4·(CH_3)_2CHOH.According to converse piezoelectric effect,the thickness of the fabricated PZT thin film varies when the applied voltage changes,making adjustment in the small to the micro-mirror surface.As a result,the wave-front adjustment by phase control is realized. |
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| Keywords: | adaptive optics micro-mirror PZT film converse piezoelectric effect |
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