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微斑光电流谱和光反射谱的自动测量系统
引用本文:张培宁,张世林,郭维廉.微斑光电流谱和光反射谱的自动测量系统[J].半导体光电,2000,21(1):69-70.
作者姓名:张培宁  张世林  郭维廉
作者单位:天津大学电子信息工程学院!天津300072(张培宁,张世林,郭维廉),中国科学院半导体所!北京100083(林世鸣,陈弘达)
摘    要:叙述了为测量半导体光电器件的光电流谱和光反射谱所构成的自动测量系统及其数据处理方法。

关 键 词:光电流谱  光反射谱  自动测量系统  微斑
修稿时间:1999-03-30

Automatic Measurement of Microspot Photocurrent and Reflection Spectra
ZHANG Pei ning ,ZHANG Shi lin ,GUO Wei lian ,LIN Shi ming ,CHEN Hong da.Automatic Measurement of Microspot Photocurrent and Reflection Spectra[J].Semiconductor Optoelectronics,2000,21(1):69-70.
Authors:ZHANG Pei ning  ZHANG Shi lin  GUO Wei lian  LIN Shi ming  CHEN Hong da
Affiliation:ZHANG Pei ning 1,ZHANG Shi lin 1,GUO Wei lian 1,LIN Shi ming 2,CHEN Hong da 2
Abstract:The automatic measurement system and the data processing method are discussed for microspot photocurrent spectrum and reflection spectrum of semiconductor optoelectronic devices.
Keywords:photocurrent spectrum  reflection spectrum  measurement
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