| 纳米颗粒改性PMMA光波导薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 肖磊,周建华,王静,王劲文.纳米颗粒改性PMMA光波导薄膜的研究[J].光电子技术与信息,2005,18(1):19-22. |
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| 作者姓名： | 肖磊 周建华 王静 王劲文 |
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| 作者单位： | 1. 厦门大学电子工程系,福建,厦门,361005
2. 厦门大学材料科学与工程系,福建,厦门,361005 |
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| 基金项目： | 福建省青年科技人才创新项目资金资助(2001J024) |
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| 摘 要： | 主要研究纳米颗粒改性甲基丙烯酸甲酯预聚物(PMMA)的工艺，以及光波导薄膜的制备技术和性能。具体采用机械混合方式进行纳米颗粒掺杂和旋涂技术，旨在提高PMMA光波导层的热稳定性和折射率，并优化实验工艺条件使光波导薄膜达到透明、均匀、致密及无气孔的要求，从而降低其光传输损耗。实验在玻璃和硅基片上制备了纳米改性的PMMA光波导薄膜，并利用各种先进的测试手段对其进行了性能测量和表征分析，结果表明：纳米SiO2颗粒能够大幅度地提高PMMA光波导层的热稳定性和玻璃化转变温度疋，而纳米TiO2颗粒使其折射率也有显著的提高。
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| 关 键 词： | 聚甲基丙烯酸甲脂 光波导薄膜 纳米改性 |
| 文章编号： | 1006-1231(2005)01-0019-04 |
| 修稿时间： | 2004年6月24日 |
Study of Nano-modification PMMA Optical Waveguide Thin-films |
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