| 非接触式表面微观形貌光学测量技术的进展 |
| |
| 引用本文： | 包学诚,周志尧.非接触式表面微观形貌光学测量技术的进展[J].现代科学仪器,1999(6):8-10. |
| |
| 作者姓名： | 包学诚 周志尧 |
| |
| 作者单位： | [1]上海交通大学,上海 [2]中国科学院上海光机所,上海 |
| |
| 摘 要： | 本文简述非接触表面微观形貌测量技术的发展概况，并对几种新型干涉测量仪器的工作原理和作了简单介绍。
|
| 关 键 词： | 干涉测量 表面形貌 表面轮廓 光学测量 双焦干涉 |
Development of Non-contact Optical Measurement for Surface Micro-topography |
| |
| Bao Xuecheng.Development of Non-contact Optical Measurement for Surface Micro-topography[J].Modern Scientific Instruments,1999(6):8-10. |
| |
| Authors: | Bao Xuecheng |
| |
| Abstract: | This paper reports the development of non-contact optical measurement for surface micro-topography, then, instroduces the principle and construction of some new interferometric instruments. |
| |
| Keywords: | Interferometry Surface topography Surface profiles |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
