| 芯片实验室的制备技术 |
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| 引用本文： | 邹志青,周天,赵建龙,徐元森.芯片实验室的制备技术[J].功能材料与器件学报,2003,9(4):493-498. |
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| 作者姓名： | 邹志青 周天 赵建龙 徐元森 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 基金项目： | 中国科学院生物科学与生物技术研究特别支持费(No.STZ-00-03),中国科学院知识创新工程(No.KSCX-06) |
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| 摘 要： | 阐述了芯片实验室的材料、微细加工、流体驱动等制备技术的近期研究进展。系统介绍了芯片实验室的各种制备技术,这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等。流体驱动是芯片实验室的动力,对多种新颖的流体驱动设计进行了对比,这些设计包括压力驱动、电渗驱动、电水力驱动、表面张力驱动、离心力驱动等。
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| 关 键 词： | 芯片实验室 微全分析系统 PCR芯片 毛细管电泳芯片 微细加工 流体驱动 制备技术 |
| 文章编号： | 1007-4252(2003)04-0493-06 |
| 修稿时间： | 2003年1月13日 |
Lab- on- a- chip technology |
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| ZOU Zhi - qing,ZHOU Tian,ZHAO Jian - long,XU Yuan - sen.Lab- on- a- chip technology[J].Journal of Functional Materials and Devices,2003,9(4):493-498. |
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| Authors: | ZOU Zhi - qing ZHOU Tian ZHAO Jian - long XU Yuan - sen |
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| Abstract: | Over the past years, there have been a number of advances in the fields of "lab - on - a -chip". It is focused on materials, microfabrication and mirofluidic manipulations of lab - on - a - chip technology. Some polymer materials are used as substrate. Kinds of new microfabrication technology are presented, including lithography, soft etching, LIGA, DEM and bonding, etc. Microfluidic mani -pulation is the source power of lab - on - a - chip, some novel designs of microfluidic manipulation are introduced, including pressure, electroosmosis, electorhydrodynamic, surface tension, centrifugal etc. |
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