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| 全自动硅片清洗设备的多线程软件设计 | |
| 引用本文： | 刘玉倩,陈仲武,侯为萍,高建利.全自动硅片清洗设备的多线程软件设计[J].电子工业专用设备,2015(2):38-43. |
| 作者姓名： | 刘玉倩 陈仲武 侯为萍 高建利 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 摘 要： | 介绍了硅片的全自动单片湿法工艺设备的基本结构,重点阐述了此设备的控制逻辑及优化方案。在软件的开发过程中,采用多线程设计,提高了设备的生产效率和可靠性。 |
| 关 键 词： | 自动化 硅片 湿法 多线程 |
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