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纳米晶结构NiOx薄膜Li+致色性能研究
引用本文:王丽阁,李剑锋,李国卿,马明涛. 纳米晶结构NiOx薄膜Li+致色性能研究[J]. 真空, 2008, 45(6)
作者姓名:王丽阁  李剑锋  李国卿  马明涛
摘    要:采用中频孪生非半衡磁控溅射方法制备了纳米晶结构NiOx电致变色薄膜.原子力显微镜(AFM)、掠入射X射线衍射(GID)、X射线反射(XRR)分析薄膜结构、形貌及薄膜厚度;利用电化学设备、紫外分光光度计等手段测试薄膜循环伏安及光谱特性.结果表明:沉积获得NiOx薄膜质地均匀,晶粒尺寸约为4.5 nm,薄膜表面粗糙度Ra=1.659 nm;以Li 离子为致色粒子,厚度60nm的NiOx薄膜在±3 V的高驱动电压下薄膜对可见光透过率凋制范围达30%以七,电致变色性能较好.

关 键 词:电致变色  NiOx薄膜  磁控溅射  纳米晶

Study on electrochromic performance of Li+ ions in NiOx nanofilms
WANG Li-ge,LI Jian-feng,LI Guo-qing,MA Ming-tao. Study on electrochromic performance of Li+ ions in NiOx nanofilms[J]. Vacuum(China), 2008, 45(6)
Authors:WANG Li-ge  LI Jian-feng  LI Guo-qing  MA Ming-tao
Abstract:
Keywords:
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