脉冲放电真空度测量法

一、以往真空度的测量方法过去,对真空容器中真空度的测量,在工业上广泛使用的仪器有:冷阴极直流真空计,如磁控管型、反磁控管型、二者组合型或者冷阴极电离真空计等。这些装置的结构都是在真空容器内设置一对相互分离的电极,利用外加的高电压,同时,在与电场垂直的方向加磁场,使其连续放电,根据放电电流来测量真空度。由于这种测量方法采用直流连续式放电,因而当电极被腐蚀、污染时,会使测量精度降低,并因在放电时,所产生的固有的排气和放气现象,会使真空度急剧变化,因此,不可能正确地测量出真空度,