多弧离子镀Ti(C,N)/TiN多元多层膜研究 |
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引用本文: | 黄元林,李长青,马世宁. 多弧离子镀Ti(C,N)/TiN多元多层膜研究[J]. 材料保护, 2003, 36(6): 6-8 |
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作者姓名: | 黄元林 李长青 马世宁 |
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作者单位: | 全军装备维修表面工程研究中心,北京,100072 |
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基金项目: | 国家自然科学基金,国防重点实验室基金,50235030,,, |
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摘 要: | 在LF6防锈铝的基体上采用多弧离子镀技术沉积了Ti(C,N)/TiN/Ti(C,N)/TiN/TiN(C,N)/TiN六层多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究。结果表明:多元多层膜表面膜层均匀,未出现龟裂现象;膜与基体之间形成了纳米级厚度的Al3Ti新相层,说明膜与基体间的结合存在化学键合,结合强度良好,划痕临界载荷达79N。显微硬度达HV0.11911.0,与基体相比,其表面显微硬度提高了近20倍,耐磨性提高了10倍以上,但摩擦因数较高(μ=0.66),粘着对偶件磨损,使对偶件磨损较严重。
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关 键 词: | 多弧离子镀 铝质材料 多元多层膜 结合强度 摩擦学 |
文章编号: | 1001-1560(2003)06-0006-03 |
修稿时间: | 2002-12-21 |
Depositing of Ti(C,N)/TiN Multi-Element-Layer Film on Aluminum Alloy Substrate by Multi-Arc Ion Plating |
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Abstract: | |
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Keywords: | multi-arc ion plating aluminum alloy multi-element-ayer film adhesion tribology |
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