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多弧离子镀Ti(C,N)/TiN多元多层膜研究
引用本文:黄元林,李长青,马世宁. 多弧离子镀Ti(C,N)/TiN多元多层膜研究[J]. 材料保护, 2003, 36(6): 6-8
作者姓名:黄元林  李长青  马世宁
作者单位:全军装备维修表面工程研究中心,北京,100072
基金项目:国家自然科学基金,国防重点实验室基金,50235030,,,
摘    要:在LF6防锈铝的基体上采用多弧离子镀技术沉积了Ti(C,N)/TiN/Ti(C,N)/TiN/TiN(C,N)/TiN六层多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究。结果表明:多元多层膜表面膜层均匀,未出现龟裂现象;膜与基体之间形成了纳米级厚度的Al3Ti新相层,说明膜与基体间的结合存在化学键合,结合强度良好,划痕临界载荷达79N。显微硬度达HV0.11911.0,与基体相比,其表面显微硬度提高了近20倍,耐磨性提高了10倍以上,但摩擦因数较高(μ=0.66),粘着对偶件磨损,使对偶件磨损较严重。

关 键 词:多弧离子镀 铝质材料 多元多层膜 结合强度 摩擦学
文章编号:1001-1560(2003)06-0006-03
修稿时间:2002-12-21

Depositing of Ti(C,N)/TiN Multi-Element-Layer Film on Aluminum Alloy Substrate by Multi-Arc Ion Plating
Abstract:
Keywords:multi-arc ion plating  aluminum alloy  multi-element-ayer film  adhesion  tribology
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