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| 蓝宝石衬底双面研磨的材料去除机理研究 | |
| 引用本文： | 张克华,文东辉,鲁聪达,袁巨龙.蓝宝石衬底双面研磨的材料去除机理研究[J].中国机械工程,2008,19(23):0-2776. |
| 作者姓名： | 张克华 文东辉 鲁聪达 袁巨龙 |
| 作者单位： | [1]浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州310014 [2]浙江师范大学,金华321004 [3]湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心,长沙410082 |
| 摘 要： | 对蓝宝石双面研磨加工进行了实验研究,借助SEM观察被加工工件表面，发现双面研磨加工的工件表面存有磨粒的二体、三体延性和磨损加工痕迹；建立了材料的理论去除模型并进行了计算，且与实验加工值进行了对比。结果表明,蓝宝石双面研磨中同时存在延性去除和脆性去除，该模型可以定性地描述双面研磨加工材料的去除率。 |
| 关 键 词： | 蓝宝石衬底 双面研磨 去除机理 表面形貌 |
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