| 粉末靶磁控溅射ZnO/Cu/ZnO的制备及表征 |
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| 引用本文： | 李彤,赵卓,武俊生,方方,周艳文.粉末靶磁控溅射ZnO/Cu/ZnO的制备及表征[J].材料导报,2022,36(6):70-73. |
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| 作者姓名： | 李彤 赵卓 武俊生 方方 周艳文 |
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| 作者单位： | 辽宁科技大学化学工程学院,辽宁 鞍山114051;辽宁科技大学表面工程研究所,辽宁 鞍山114051,辽宁科技大学化学工程学院,辽宁 鞍山114051,辽宁科技大学表面工程研究所,辽宁 鞍山114051 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 透明导电薄膜 粉末靶 射频磁控溅射 光电薄膜 |
Fabrication and Characterization of the ZnO/Cu/ZnO by Magnetron Sputtering Using Powder Targets |
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| LI Tong,ZHAO Zhuo,WU Junsheng,FANG Fang,ZHOU Yanwen.Fabrication and Characterization of the ZnO/Cu/ZnO by Magnetron Sputtering Using Powder Targets[J].Materials Review,2022,36(6):70-73. |
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| Authors: | LI Tong ZHAO Zhuo WU Junsheng FANG Fang ZHOU Yanwen |
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