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| 基于MEMS硅基波导的W波段大功率倍频源设计 | |
| 作者姓名： | 成海峰 朱翔 沈丽君 吉小莹 魏翔 |
| 作者单位： | 南京电子器件研究所,南京,210016;南京信息工程大学,南京,210044;东南大学,南京,210096 |
| 摘 要： | 基于自主MEMS工艺,通过在203.2 mm(8英寸)的硅晶圆上采用刻蚀、镀金、键合等工艺途径实现了硅基波导结构,设计并制作了W波段硅基波导带通滤波器和W波段硅基波导H-T合成器.测试结果表明MEMS工艺制作的硅基波导器件具有很高的一致性.以此硅基波导器件为基础,研制了W波段大功率8倍频源.经测试,该倍频源在92～96... |
| 关 键 词： | W波段 硅基波导 滤波器 功率合成器 MEMS 氮化镓 |
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