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低应力掺钪氮化铝薄膜制备技术研究

作者单位：	南京电子器件研究所,南京,210016;南京电子器件研究所,南京,210016;微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室,南京,210016

摘要：
关键词：	掺钪氮化铝低应力应力匹配
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