|
|||||
|
|
| 微机电系统的研究及应用 | |
| 引用本文： | DING Qun-yan,曾鑫. 微机电系统的研究及应用[J]. 装备制造技术, 2008, 0(7) |
| 作者姓名： | DING Qun-yan 曾鑫 |
| 作者单位： | 黄冈职业技术学院,湖北,黄冈,438002 |
| 基金项目： | 湖北省教育厅教学研究项目20060426 |
| 摘 要： | 概述了微机电系统的结构和特点,介绍了饭机电系统的研究和应用领城. |
| 关 键 词： | MEMS 微型器件系统 微执行器 集成化 |
Research and Applications of MEMS |
|
| DING Qun-yan,ZENC Xin. Research and Applications of MEMS[J]. , 2008, 0(7) | |
| Authors: | DING Qun-yan ZENC Xin |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |