| 基于基片集成波导的硅微机械滤波器 |
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| 引用本文： | 郁元卫,贾世星,朱健.基于基片集成波导的硅微机械滤波器[J].固体电子学研究与进展,2010,30(3). |
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| 作者姓名： | 郁元卫 贾世星 朱健 |
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| 作者单位： | 单片集成电路和模块国家级重点实验室,南京电子器件研究所,南京,210016 |
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| 摘 要： | 基片集成波导(SIW)结构是在低损耗的基片上利用金属孔构成的波导结构,具有高品质因数、大功率特性和易于集成的优点,是最近微波电路研究的热点技术.滤波器是微波毫米波电路中最常用的器件,使用SIW可以实现高性能滤波器且保持体积小的优点.
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Silicon Micromachined Filters Using Substrate Integrated Waveguide(SIW)Cavity |
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| YU Yuanwei,JIA Shixing,ZHU Jian.Silicon Micromachined Filters Using Substrate Integrated Waveguide(SIW)Cavity[J].Research & Progress of Solid State Electronics,2010,30(3). |
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| Authors: | YU Yuanwei JIA Shixing ZHU Jian |
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