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杂志ISSN号
高频逆变真空电弧蒸发电源
作者姓名:
于翠华 李成春
作者单位:
大连市金州工业科研所(于翠华),大连市金州真空电器研究所(李成春)
摘 要:
高频逆变真空电弧蒸发电源是现代电力电子技术与微电子技术的综合产物,因其具有高效节能、形小体轻、真空电弧稳定等特点,势必发展成为新一代电弧蒸发电源。本文就其主要工作原理、设计计算、实验数据等进行了分析研讨,并举电路实例供参照
关 键 词:
真空电弧 电弧蒸发电源 高频 逆变 电源
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