磁盘预光刻自动调焦控制系统的设计

本文论述了光头调焦控制系统的研制过程，对光刻伺服磁盘几种调焦误差信号形成方法进行了讨论和实验分析。结果证明，该系统能使激光光束通过光头后良好地聚焦于磁盘表面，达到光刻要求。