| 简谐电压激励下静电谐波微电机的响应分析 |
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| 引用本文： | 秦磊,许立忠.简谐电压激励下静电谐波微电机的响应分析[J].中国机械工程,2008,19(19). |
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| 作者姓名： | 秦磊 许立忠 |
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| 作者单位： | 燕山大学,秦皇岛,066004 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于静电驱动的新型谐波微电机,描述了该微电机的基本工作原理.给出了微电机中静电场力的静态分量、动态分量和简谐电压激励下的载荷.将受迫振动的位移解表示为柔轮自由振动振型的级数形式,进而把按照Donnell壳理论建立的控制微分方程予以化简.利用壳体振型的正交性,确定了简谐电压激励下系统的动态响应,并总结了其规律.最后,分析了系统在电压激励下的共振特性,以及随主要系统参数的变化规律.
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| 关 键 词： | 谐波微电机 静电场力 简谐电压 动态响应 共振分析 |
Response to Harmonic Voltage Excitation for Electrostatic Harmonic Micromotor |
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| Qin Lei,Xu Lizhong.Response to Harmonic Voltage Excitation for Electrostatic Harmonic Micromotor[J].China Mechanical Engineering,2008,19(19). |
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| Authors: | Qin Lei Xu Lizhong |
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