| Al2O3与TiO2混合离子镀过程中工艺参数对涂层性能的影响 |
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| 引用本文： | 肖李鹏,熊国刚,李恩平. Al2O3与TiO2混合离子镀过程中工艺参数对涂层性能的影响[J]. 腐蚀与防护, 2003, 24(6): 252-253 |
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| 作者姓名： | 肖李鹏 熊国刚 李恩平 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳 621900 |
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| 摘 要： | 讨论了在采用离子镀获得Al2O3与TiO2混合涂层工艺过程中，真空度、基片偏压、电子枪功率等主要工艺参数对涂层性能的影响。
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| 关 键 词： | 反应离子镀 结合强度 沉积速率 |
| 文章编号： | 1005-748X(2003)06-0252-02 |
| 修稿时间： | 2002-12-31 |
Effects of Technical Parameters During Ion-plating Process on Properties of Coating |
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| XIAO Li peng,XIONG Guo gang,LI En ping. Effects of Technical Parameters During Ion-plating Process on Properties of Coating[J]. Corrosion & Protection, 2003, 24(6): 252-253 |
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| Authors: | XIAO Li peng XIONG Guo gang LI En ping |
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| Abstract: | In this paper the effects of main technical parameters during ion plating process on the properties of the coating are discussed. |
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| Keywords: | Reactive ion plating Bond strength Deposition rate |
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