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| Ta2O5/MnO2复合湿敏薄膜制备工艺研究 | |
| 引用本文： | 殷景华,桂太龙,李伟东,段智勇. Ta2O5/MnO2复合湿敏薄膜制备工艺研究[J]. 哈尔滨理工大学学报, 2002, 7(6): 68-69 |
| 作者姓名： | 殷景华 桂太龙 李伟东 段智勇 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨理工大学,应用科学学院,黑龙江,哈尔滨,150080 2. 黑龙江省移动通讯局,黑龙江,哈尔滨,150001 3. 上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200030 |
| 摘 要： | 采用钽片阳极氧化和硝酸锰热分解方法，制备Ta2O5/MnO2复合薄膜，研究了电解液种类、浓度（质量分数）、电压对Ta2O5/MnO2复合薄膜绝缘性能的影响。 |
| 关 键 词： | 湿敏薄膜 制备工艺 Ta2O5 MnO2 复合薄膜 氧化钽 二氧化锰 薄膜电容式湿度传感器 |
| 文章编号： | 1007-2683(2002)06-0068-02 |
Study of the Preparation of Ta2O5/MnO2 Combined Films for Humidity Sensitivity |
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| YIN Jing-hua,GUI Tai-long,LI Wei-dong,DUAN Zhi-yong. Study of the Preparation of Ta2O5/MnO2 Combined Films for Humidity Sensitivity[J]. Journal of Harbin University of Science and Technology, 2002, 7(6): 68-69 | |
| Authors: | YIN Jing-hua GUI Tai-long LI Wei-dong DUAN Zhi-yong |
| Abstract: | The film of Ta2O5 was prepared by anodic oxidation and the film of MnO2 was infiltrated by heating decomposition on the Ta2O5. The effect of the kinds of electrolyte, concentration and forming voltage on the insulation property of the Ta2O5/MnO2 was studied. |
| Keywords: | Ta_2O_5 MnO_2 combined films |
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