缩小投影型曝光装置

日本尼康公司开发出与64M DRAM和256M DRAM相配套的准分子步进器“尼康缩小投影型曝光装置”。该装置采用准分子激光器作光源,以22mm~2的曝光范围,实现了0.3μm以下的高分辨率。