|
|||||
|
|
| 陶瓷衬底上淀积薄膜α－Fe_2O_3材料的微结构和气敏特性研究 | |
| 引用本文： | 柴常春,彭军,郭振琪,镇桂芹.陶瓷衬底上淀积薄膜α－Fe_2O_3材料的微结构和气敏特性研究[J].无机材料学报,1996(3). |
| 作者姓名： | 柴常春 彭军 郭振琪 镇桂芹 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子学研究所，西北大学现代分析测试中心，西安通信学院 |
| 摘 要： | 本文用常压化学气相淀积（ＡＰＣＶＤ）工艺在陶瓷衬底上成功地制备出了具有超微粒结构的α－Ｆｅ_２Ｏ_３气敏薄膜．对所制备的薄膜进行了Ｘ射线衍射分析和扫描电子显微分析（ＳＥＭ）．研究了淀积工艺条件对α－Ｆｅ_２Ｏ_３薄膜的粒度的影响．气敏特性研究表明，用ＡＰＣＶＤＩ艺制备的超微粒α－Ｆｅ_２Ｏ_３薄膜对烟雾呈现出很高的灵敏度和良好的选择性，这种薄膜可用于感烟探测器． |
| 关 键 词： | 常压化学气相淀积（APCVD），α－Fe_2O_3薄膜，微结构，气敏特性 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |