陶瓷衬底上淀积薄膜α-Fe_2O_3材料的微结构和气敏特性研究 |
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作者姓名: | 柴常春 彭军 郭振琪 镇桂芹 |
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作者单位: | 西安电子科技大学微电子学研究所,西北大学现代分析测试中心,西安通信学院 |
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摘 要: | 本文用常压化学气相淀积(APCVD)工艺在陶瓷衬底上成功地制备出了具有超微粒结构的α-Fe_2O_3气敏薄膜.对所制备的薄膜进行了X射线衍射分析和扫描电子显微分析(SEM).研究了淀积工艺条件对α-Fe_2O_3薄膜的粒度的影响.气敏特性研究表明,用APCVDI艺制备的超微粒α-Fe_2O_3薄膜对烟雾呈现出很高的灵敏度和良好的选择性,这种薄膜可用于感烟探测器.
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关 键 词: | 常压化学气相淀积(APCVD),α-Fe_2O_3薄膜,微结构,气敏特性 |
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