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CdTe光敏薄膜的制备及性能研究
引用本文:李燕,黄书万.CdTe光敏薄膜的制备及性能研究[J].真空电子技术,1997(6):19-22.
作者姓名:李燕  黄书万
作者单位:电子科技大学
摘    要:本文采用高温烧结和真空蒸发制备了CdTe光敏薄膜,探讨了制备工艺对CdTe薄膜性能和结构的影响,得到在基片温度为130℃左右制备的CdTe薄膜具有明显的光敏特性,并得到CdTe材料的禁带宽度为1.63eV。利用X衍射对不同基片温度下制备的CdTe薄膜材料进行了结构分析,发现基片温度为130℃左右制备的CdTe薄膜具有明显的衍射峰。

关 键 词:Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体,薄膜,光电导效应,硫属化合物

Preparation and Research on the Properties of GdTe Optical Sensitive Thin Films
Li Yan, Huang Shuwan.Preparation and Research on the Properties of GdTe Optical Sensitive Thin Films[J].Vacuum Electronics,1997(6):19-22.
Authors:Li Yan  Huang Shuwan
Abstract:
Keywords:
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