| 集成电路工厂的噪声及控制 |
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| 引用本文： | 周向荣,韩科勇. 集成电路工厂的噪声及控制[J]. 洁净与空调技术, 2003, 0(4): 53-54,58 |
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| 作者姓名： | 周向荣 韩科勇 |
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| 作者单位： | 1. 中国电子工程设计院
2. 华越微电子有限公司 |
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| 摘 要： | 本文分析了集成电路制厂的噪声来源，阐述了噪声控制的重要性及主要噪声的控制措施
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| 关 键 词： | 集成电路工厂 噪声控制 噪声源 减噪设施 噪声污染 |
Noise and its control in IC works |
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| ZHOU Xiangrong and HAN Keyong China electronics Engineering Design institute. Noise and its control in IC works[J]. Contamination Control & Air-Conditioning Technology, 2003, 0(4): 53-54,58 |
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| Authors: | ZHOU Xiangrong and HAN Keyong China electronics Engineering Design institute |
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| Affiliation: | ZHOU Xiangrong and HAN Keyong China electronics Engineering Design institute |
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| Abstract: | This paper discuss soures of noise in the IC works, important of noise control and main measure for nois control. |
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| Keywords: | IC workks Noise soures Noise control. |
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